(1)便攜性:許多真空氦氣檢漏設(shè)備不僅靈敏度高,而且便于攜帶,為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口的壓力可高達(dá)數(shù)百帕,對(duì)于檢測(cè)大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動(dòng)化:氦峰自動(dòng)標(biāo)定,零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整,量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,數(shù)據(jù)自動(dòng)處理,可外接打印機(jī)。全機(jī)由微電腦控制,具有選菜功能,一鍵完成全檢漏過(guò)程。
(4)完全無(wú)油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸汽的效果,為無(wú)油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。
清洗
泄漏探測(cè)器沒(méi)有氦進(jìn)入,但有一定的泄漏率指示,長(zhǎng)期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣,在檢漏時(shí)又被釋放,造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,在真空氦氣檢漏設(shè)備下方設(shè)置過(guò)濾器,將其拆下,用酒精浸泡清洗。檢查泄漏,用棉布擦拭波紋管。
氦氣底部高度:
1、被檢件密封不良,造成檢漏口入口壓力大,質(zhì)譜室真空度低。
2.在被檢物品中,氦很難在短時(shí)間內(nèi)清除。
3、被檢件重新密封。
4.使用零位調(diào)節(jié)功能檢測(cè)泄漏。